本實(shí)用新型涉及一種升降手動(dòng)裝置，該裝置通過(guò)調(diào)節(jié)加熱盤升降來(lái)實(shí)現(xiàn)調(diào)整兩極板之間的間距，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，尤其是12英時(shí)PECVD設(shè)備其產(chǎn)品的加熱盤升降調(diào)整機(jī)構(gòu)均是由電動(dòng)滑臺(tái)(氣動(dòng)滑臺(tái))、導(dǎo)軌、波紋鋼管、上下連接法蘭、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、調(diào)平機(jī)構(gòu)、密封機(jī)構(gòu)、傳感器和固定架組成。當(dāng)動(dòng)力電聯(lián)通時(shí)，在導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的導(dǎo)向下，滑臺(tái)上下移動(dòng)，通過(guò)傳感器反饋位置來(lái)實(shí)現(xiàn)加熱盤升降調(diào)整。但是，上述這樣復(fù)雜的調(diào)整結(jié)構(gòu)，雖然可以滿足調(diào)整加熱盤升降的需要，滿足升降位置反饋并調(diào)節(jié)的需求，但由于設(shè)備工作環(huán)境一般為400°C以上的高溫，調(diào)整和反饋的信號(hào)容易受到干擾，維護(hù)時(shí)需等待設(shè)備降溫從而影響到產(chǎn)能，高端電子設(shè)備的造價(jià)也不容小視，像上述結(jié)構(gòu)的這樣閉環(huán)全自動(dòng)的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)并不是完全適應(yīng)于半導(dǎo)體鍍膜行業(yè)現(xiàn)狀。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種占地面積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單及調(diào)平方便的新型升降手動(dòng)裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案升降手動(dòng)裝置，包括波紋管組件，波紋管組件是由波紋管與上下法蘭通過(guò)焊接而成。其上法蘭固定于加熱盤底部，下法蘭壓緊密封圈固定于穩(wěn)流室底部實(shí)現(xiàn)波紋管固定與密封。波紋管組件的下法蘭與導(dǎo)向銅套連接，為整個(gè)裝置的豎直方向?qū)颉Ｉ鲜鰧?dǎo)向銅套與絲母連接，絲母與絲杠配合并通過(guò)絲杠固定座、轉(zhuǎn)動(dòng)銅套與手柄實(shí)現(xiàn)絲杠的平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)。指針固定于導(dǎo)向銅套上，刻度板環(huán)于手柄外圈。當(dāng)調(diào)整加熱盤時(shí)，刻度盤可以精確的指示旋轉(zhuǎn)行程，刻度尺則在數(shù)量級(jí)上提示上升或下降的位移。在導(dǎo)向銅套的外圍，有和彈簧連接的螺栓，用來(lái)微調(diào)加熱盤的水平。由于彈簧的自鎖功能，可實(shí)現(xiàn)在調(diào)整過(guò)程中，可調(diào)即可見(jiàn)的效果。本實(shí)用新型采用簡(jiǎn)單可靠的機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及直觀可見(jiàn)的刻度盤、刻度尺，來(lái)代替現(xiàn)有技術(shù)的滑臺(tái)與傳感器，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單明了。并在實(shí)現(xiàn)基本功能需求的前提下，即在能完全實(shí)現(xiàn)加熱盤的升降調(diào)整，極間距調(diào)整的基礎(chǔ)上，保證整個(gè)機(jī)構(gòu)空間占用小，調(diào)平及拆卸維護(hù)簡(jiǎn)單方便，升降高度反饋直觀可見(jiàn)，成本低廉。適用于科研機(jī)構(gòu)及小型Fab廠所需的經(jīng)常調(diào)整試驗(yàn)參數(shù)，達(dá)到反復(fù)調(diào)整比對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的目的。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例如圖I和圖2所示，升降手動(dòng)裝置，包括波紋管組件4，波紋管組件4是由波紋管與上下法蘭通過(guò)精密焊接組成。其上法蘭壓緊密封圈3固定于加熱盤I底部，下法蘭壓緊密封圈6固定于穩(wěn)流室底部實(shí)現(xiàn)波紋管固定與密封，波紋管組件4的下法蘭與導(dǎo)向銅套7連接，實(shí)現(xiàn)整個(gè)裝置的豎直方向?qū)颍瑢?dǎo)向銅套7與絲母5連接，絲母5與絲杠8配合并通過(guò)絲杠固定座10、轉(zhuǎn)動(dòng)銅套9與手柄11實(shí)現(xiàn)絲杠的平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)。上述絲杠8為T型結(jié)構(gòu)。指針12固定于導(dǎo)向銅套7上，刻度板2環(huán)于手柄11外圈，當(dāng)調(diào)整加熱盤I時(shí)，刻度板2可以精確的指示旋轉(zhuǎn)行程，刻度尺14豎直固定在真空穩(wěn)流室上，可在數(shù)量級(jí)上提示上升或下降的位移。在導(dǎo)向銅套7的外圍，有和彈簧13連接的調(diào)整螺栓15，用來(lái)微調(diào)加熱盤I的水平， 由于彈簧13的自鎖功能，可實(shí)現(xiàn)在調(diào)整過(guò)程中，可調(diào)即可見(jiàn)的效果。
權(quán)利要求
1.一種升降手動(dòng)裝置，包括波紋管組件，其特征在于波紋管組件是由波紋管與上下法蘭通過(guò)焊接而成，其上法蘭固定于加熱盤底部，下法蘭壓緊密封圈固定于穩(wěn)流室底部實(shí)現(xiàn)波紋管固定與密封，波紋管組件的下法蘭與導(dǎo)向銅套連接，為整個(gè)裝置的豎直方向?qū)颍?上述導(dǎo)向銅套與絲母連接，絲母與絲杠配合，指針固定于導(dǎo)向銅套上，刻度尺(14)豎直固定在穩(wěn)流室上，刻度板環(huán)于手柄外圈，在導(dǎo)向銅套的外圍設(shè)有和彈簧連接的螺栓。
2.如權(quán)利要求I所述的升降手動(dòng)裝置，其特征在于所述的絲杠(8)為T型結(jié)構(gòu)。
專利摘要
升降手動(dòng)裝置，主要解決了現(xiàn)有的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)復(fù)雜、造價(jià)高等技術(shù)問(wèn)題。該裝置包括波紋管組件，波紋管組件是由波紋管與上下法蘭通過(guò)焊接而成。其上法蘭固定于加熱盤底部，下法蘭壓緊密封圈固定于穩(wěn)流室底部實(shí)現(xiàn)波紋管固定與密封。波紋管組件的下法蘭與導(dǎo)向銅套連接，為整個(gè)裝置的豎直方向?qū)?。指針固定于?dǎo)向銅套上，刻度板環(huán)于手柄外圈，在導(dǎo)向銅套的外圍設(shè)有和彈簧連接的螺栓。本裝置采用簡(jiǎn)單可靠的機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及直觀可見(jiàn)的刻度盤、刻度尺，來(lái)代替現(xiàn)有技術(shù)的滑臺(tái)與傳感器，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單明了、拆卸維護(hù)方便、成本低廉。適應(yīng)于科研機(jī)構(gòu)及小型Fab廠所需的經(jīng)常調(diào)整試驗(yàn)參數(shù)，達(dá)到反復(fù)調(diào)整比對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的目的。
